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アルカリ現像液自動管理装置 エッチング液パーフェクトコントローラ 濃度/電解度コントローラ

アルカリ現像液
    自動管理装置

エッチング液
   パーフェクトコントローラ
塩化第二鉄液
   
自動管理装置

濃度/電導度
   
コントローラ

#1036D.#1036D2 塩化第二銅エッチング
(過酸化水素再生)
#9752CU.#9552NU
塩化第二鉄エッチング
#9752FE.#1033N2
塩化第二銅エッチング
(塩素酸ナトリウム再生)

#9752CL03
塩化第二鉄エッチング
#1036FEH2
#936EC
アルカリエッチャント自動管理システム
アルカリエッチャント
   自動管理システム
#1036PH_CU+936SG


 
#1036D  
アルカリ現像液自動管理装置  
概要
アルカリ現像液中の有効アルカリ濃度と溶解レジスト濃度を滴定分
析法で測定し自動補給信号を出力します。

特徴
@ぺリスタポンプ(扱きポンプ)は一切使用していないので、無校正
 で使用できます。
A手分析と同じ方法なので、本装置 が基準管理装置となります。
B有効アルカリが不足すると補給信 号を出力します。溶解レジスト
  濃 度が上昇すると希釈信号を出力し ます。
C炭酸ナトリウム、水酸化カリウム、 水酸化ナトリウム、TMAHの
  各種現像液に対応しています。

#1036D アルカリ現像液自動管理装置
資料のご請求はこちら



 
#1036D2  
アルカリ現像液自動管理装置  

概要
1036Dの改良上位機種です。アルカリ現像液中の有効アルカリ濃度
を滴定法で、溶解レジスト濃度はフォトメトリー(光学測定法)で分析
し、自動補給信号を出力します。

特徴
@メンテナンス工数削減、高コストパフォーマンス
  ぺリスタポンプ不使用、合理的な設計、特許登録・申請中の弊社
  技術などによって保守部品の極小化と初期コスト大幅減を実現し
  ました。
A先進の高性能
  弊社特許技術の自動滴定・光学測定・濃度管理を用い、他社で実
  現できない高精度を実現しました。
Bライン効率向上に貢献
  各濃度の警報や補給信号を出力し、ラインのさらなる自動化を実
  現します。業界最小サイズで、既設ラインの妨げにならず設置で
  きます。 また、多くのお客様の声にこたえ、計算補正など現場
  で実際に必要な機能も追加しました。
C豊富な現像液対応
  炭酸ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、TMAHの各
  種現像液に対応しています。

導入実績
 ・東証一部上場PCB・FPCメーカー
 ・東証一部上場化学素材メーカー
 ・大手半導体製造装置メーカー
 など複数社多数
 (※弊社ではお取引先の技術情報を守るため会社名はすべて非公
  開としております。)

#1036D2 アルカリ現像液自動管理装置
資料のご請求はこちら

 



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