現像工程
現像・エッチング・剥離
1036D アルカリ現像液自動管理装置
概要
アルカリ現像液中の有効アルカリ濃度と溶解レジスト濃度を滴定分析法で測定し自動補給信号を出力します。
1036D2 アルカリ現像液自動管理装置
概要
1036Dの改良上位機種です。アルカリ現像液中の有効アルカリ濃度を滴定法で、溶解レジスト濃度はフォトメトリー（光学測定法）で分析し、自動補給信号を出力します。
936EC,873EC アルカリ現像液調合用
概要
電磁誘導の原理で、溶液の濃度／電導度を測定管理します。剥離液の自動管理にローコストのこのコントローラが使用でき、品質向上とコストダウンに貢献します。