エッチング工程

現像・エッチング・剥離

9752CU 塩化第二銅エッチング液パーフェクトコントローラ

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概要

塩化第二銅エッチング液(過酸化水素再生系）の塩酸、第一銅/過酸化水素、比重、温度を測定し最適な状態に自動管理します。本製品は、#9552NⅡの上位機種となります。

9552NⅡ 塩化第二銅エッチング液パーフェクトコントローラ

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概要

塩化第二銅エッチング液(過酸化水素再生系）の塩酸、第一銅、比重、温度を測定し最適状態に自動管理します。

9752FE 塩化第二鉄エッチング液パーフェクトコントローラ

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概要

塩化第二鉄エッチング液の塩酸、Redox電位、比重、温度を測定し最適な状態に自動管理します。

1036FEH2 塩化第二鉄エッチング液自動管理装置

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概要

塩化第二鉄エッチング液中の塩酸濃度と溶解した金属（銅、ニッケル、クロム他）の濃度を正確分析・正確制御します。新液でないエッチング液や、他社製品のようなセンサー方式では正確に測れない状態の液も確実に測定します。
他の#1036 シリーズと同様、メンテナンス工数削減とコストパフォーマンスに優れた装置です。

9752CLO3 塩化第二銅エッチング液パーフェクトコントローラ(塩素酸ナトリウム再生)

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概要

塩化第二銅エッチング液(塩素酸ナトリウム再生系）の塩酸、第一銅/塩素酸ナトリウム、比重、温度を測定し最適状態に自動管理します。

1036PHCU+936SG アルカリエッチャント自動管理システム

1036+

概要

アルカリエッチング液（銅アンモニウム錯塩）のｐＨ精密測定と銅濃度測定を#1036PH_CU自動管理装置で行い、比重は936SG比重コントローラで管理するシステムです。